無塵車間設計方案之十級無塵車間設計

2020-10-21 08:33 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

無塵車間設計方案之100級無塵車間設計

本工程以上海市某電子材料公司新建潔凈廠房中無塵車間設計為例, 總凈化面積為1500 平方米, 分為更衣室 1 (gown room)、更衣室 2 (gown room)、化驗室 1 (Wet Labora- tory) 和化驗室 2 (Instrument Laboratory)。實驗室面積雖然不大, 但它是整個車間工藝流程的核心部分, 凈化實驗室能否正常運行, 直接影響到整個產(chǎn)品質(zhì)量。工程于2020年 年6月完成施工、并全面通過靜態(tài)測試驗收投入運行, 到目前為止運行良好。

無塵車間設計要求

按照 FS- 209E 標準 ( FS- 209E 標準見表 1) , 本工程各無塵車間的潔凈等級分別為更衣室 1: Class 4.5 級 ( 1000) ,  更衣室 2: Class 3.5 級 ( 100) , 化驗室 1: Class 4.5 級 ( 1000) , 化驗室 2: Class 2.5 級 ( 10) 。實驗室內(nèi)裝要求: 無塵車間內(nèi)隔間吊頂及龍骨須為防腐蝕材料, 所有水泥墻表面涂裝耐腐蝕環(huán)氧樹脂防止有可能被化學氣體腐蝕, 所有與回風相接觸的機械元件都必須用不銹鋼材質(zhì)或者與之耐腐蝕性相當?shù)牟牧?。高效過濾器 ( HEPA) 和超高效過濾器 ( ULPA) 也要有耐腐蝕考慮。

空調(diào)要求: 安裝一套新風處理機組, 處理的新風供給潔凈室及安裝在潔凈室內(nèi)的蒸發(fā)罩 ( hood) , 新風回風混合后通過 HEPA/ULPA/FFU ( 空氣處理單元) 送入潔凈室?；仫L由空氣集中處理機組或干盤管處理。每個房間的空氣 壓力由集中處理單元或 FFU 控制, 根據(jù)各房間潔凈度及室內(nèi)設備、家具的位置選擇布置空氣過濾器的數(shù)量和位置, 室內(nèi)溫度及相對濕度必須可控。各房間均須設置緊急通風

系統(tǒng)。各潔凈室各項具體參數(shù)要求見表 2。

按各房間潔凈度需求設置氣閘、風淋室及傳遞箱。

無塵車間設計說明

空調(diào)凈化的設計是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點, 下面來介紹此項目的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

化驗室 1, 化驗室 2 都有溫度和濕度控制要求, 空調(diào)系統(tǒng)用的新風機組 ( MAU) 和循環(huán)空調(diào)機組 ( RCU) 的冷媒采用 7～12℃的冷凍水,   加熱采用 0.2Mpa 飽和蒸汽,   加濕采用純水電極式加濕方式。

化驗室 2 潔凈等級為 10 級, 采用新風機組 ( MAU) + 循環(huán)空調(diào)機組 ( RCU) +超高效過濾器 ( ULPA) 的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部 ( ULPA) 送風, 氣流經(jīng)高架地板孔洞至回風夾道。ULPA 滿布濾為 100%, 化驗室 2 對NH +、SOx 濃度有要求, 需在循環(huán)機組 ( RCU) 內(nèi)增設化學過濾器。10 級凈化間的氣流流程為: 新回風混合→活性碳濾器→中效過濾器 ( 95%) →表冷器→送風機→消聲器→ 亞高效過濾器 ( 99.97%)  →送風靜壓箱→超高效過濾器( 99.999995%) →潔凈區(qū)→高架地板→回風夾道→回風管→ 新回風混合。為避免房間酸性氣體一旦泄漏造成人員傷亡, 設緊急排氣風機。新風接至 MAU- 1 新風機組