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電子千級凈化無塵車間設(shè)計方案

2020-11-23 13:07 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

電子千級凈化無塵車間設(shè)計方案

1工程概況

蘇州某電子EPC總承包項目中的一個典型凈化無塵車間，車間及工藝布局,總面積 1060 m2,凈化無塵間凈高3.0 m,建筑層高7.0 m，潔凈等級為1000級(@ 0.5 pm),溫濕度要求： (21±2) °C, (55±10) %。工藝設(shè)備較多，有大量熱排風(fēng)，無工藝?yán)鋮s水。

2系統(tǒng)計算

2.1工藝設(shè)備負荷計算

本工藝設(shè)備均為電熱設(shè)備，散熱量

Qs = 1000 nAn2n3n4xN

式中：％為同時使用系數(shù)，一般可取0.5?1.0； n2 為利用系數(shù)，一般可取0.7-0.9; %為小時平均實 耗功率與設(shè)計最大功率之比，一般可取0.5； n,為 通風(fēng)保溫系數(shù)，設(shè)備無保溫有局部通風(fēng)時一般可取 0.4-0.6,無保溫?zé)o局部排風(fēng)時一般可取0.8~1.0。 根據(jù)工藝設(shè)備要求各設(shè)備散熱量見表1。

表1工藝設(shè)備散熱量

設(shè)備名稱

數(shù) 量

功率 (kW)


"2

?3

葬4

單臺 散熱量

(kW)

小計 散熱量

(kW)

曝光機

30

4.8

1

0.8

0.5

0.6

1.2

34.6

真空干膜機

28

15.24

1

0.8

0.5

0.6

3.7

102.4

高壓艙

3

4

1

0.8

0.5

1

1.6

4.8

熱壓干膜機

3

2.5

1

0.8

0.5

0.6

0.6

1.8

VIGOR

4

1.5

1

0.8

0.5

1

0.6

2.4


合計

146.0

2.2空調(diào)冷負荷計算

 

表2空調(diào)冷負荷





房間參數(shù)

夏季散熱量

房間名稱

面積

吊頂高度 一

房間體積

溫度

相對濕度

潔凈度

人數(shù)

顯 熱

T-藝設(shè)備發(fā)熱

圍護結(jié)構(gòu)傳熱

照明傳熱

總熱 量



m

m，

C

%



kW

kW

kW

kW

kW

更

40

3

120

15-28

/

/

0

0

0

1

1.4

2.4

5

40

3

120

15 ?28

/

8

0

0

0

1

1.4

2.4

黃光區(qū)

106

0

3

318

0

21 ±2

55 +

10

6

260

20.8

146

26.5

37.1

230.4

3












235.2

2.3系統(tǒng)送風(fēng)量計算


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    • 表3系統(tǒng)送
    風(fēng)量

    新風(fēng)量

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