電子半導(dǎo)體潔凈廠房內(nèi)是如何防靜電的

2021-04-28 13:15 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

電子半導(dǎo)體潔凈廠房內(nèi)是如何防靜電的

一直以來接到不少客戶對生產(chǎn)車間進行防靜電防護改良咨詢，現(xiàn)跟大家分享一下多年來的經(jīng)驗，但愿這些方案能給大家?guī)韼椭?，如有不足之處請來電商討?/span>

一、 防靜電目的：防止靜電放電對 ESD 器件的損傷。表現(xiàn)在如下幾個方面：

- 靜電放電 (ESD)引起發(fā)光二極管 PN 結(jié)的擊穿，是LED器件封裝和應(yīng)用組裝工業(yè)中靜電危害的主要方式。

- 靜電放電可能造成 LED突發(fā)性失效或潛在性失效。

- LED極為精細，失效分析難度大，使人容易誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效 ,從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。

- ESD以極高的強度很迅速地發(fā)生，放電電流流經(jīng)LED的PN結(jié)時，產(chǎn)生的焦耳熱使芯片PN兩極之間局部介質(zhì)熔融，造成PN結(jié)短路或漏電。

二、 無塵車間內(nèi)防靜電系統(tǒng)的建立：

硬件系統(tǒng)：

－ 人體靜電防護：人體配有繩防靜電腕，良好接地，每天定期測試有效性能。檢查靜電腕與人體皮膚良好接觸， 接地端與地線良好接觸。

－ 設(shè)備靜電防護 : 機臺、設(shè)備、工具良好接地線（不可與人體靜電地線共用，防止機臺、設(shè)備、工具漏電電擊人員） 。

－ 設(shè)立 EPA 防護區(qū) :

防靜電區(qū)設(shè)計原則抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不使用塑料、有機玻璃、普通塑料袋。

1 . 安全、迅速有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，使用有繩防靜電腕防靜電椅、車、箱。

2. 地面 防靜電地面，(防靜電水磨石， 防靜電地板 )1 0^5 Ω ～ 1 0^1 0 Ω ， 敷設(shè)地線網(wǎng)。

3.工位 臺面、 工作椅、 凳面應(yīng)采用 ESD 保護材料。

4. 人體 穿防靜電服、 鞋、 腕等 (1 M) 。

5. 電子潔凈車間內(nèi)接地設(shè)置：

a、 防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，地電阻小于4。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，使用三相五線制的供電時，其地線可以作防靜電地線。

b、 工作臺面、地板墊、坐椅、凳和其它導(dǎo)靜電的 ESD 保護措施均應(yīng)通過限流電阻接到地線，腕帶等應(yīng)通過工作臺頂面接地點與地線連接， 工作臺不可相互串聯(lián)接地。

c、 防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)，包括限流電阻和連接端子應(yīng)連接可靠并具有一定載流能力，限流電阻阻值選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過 5mA，下限值取為 1 M Ω 。

6. 環(huán)境：空氣濕度的控制，小于60%時，須加強防靜電操作系統(tǒng)。工作臺面防靜電桌布良好接地，定期檢查有效性。

7. 電離器：不能有效地泄放靜電荷的場合，可采用電離器通過空氣中的正負離子來防止和中和元器件和其它物體上電荷 積累，電離能力大于250V/s。

8. 增濕：增濕器可使潮濕空氣流，防止靜電荷積累，此法不適；增濕后產(chǎn)生有害影響的場地。

9. 包裝：靜電敏感器件應(yīng)采取保護性包裝；靜電敏感器件包裝器具必須采用防靜存放盒， 防靜電塑料袋。

1 0. 運輸、貯存 SSD必須放在防靜電容器 (箱、袋 )內(nèi)，并用防靜電運輸工具(車)。庫房滿足防靜電操作系統(tǒng)要求，SSD須放防靜電容器內(nèi)，貯運中要遠離靜電，電磁場或放射場的位置。

1 1 、SSD 元器件應(yīng)分類拿放，靜電敏感符號符號符合 GJB1649 規(guī)定。

需要了解更多凈化項目，請點擊在線咨詢