無塵車間設(shè)計方案

2020-10-13 13:07 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

無塵車間設(shè)計方案

芯片、太陽能光伏芯片無塵車間設(shè)計方案。包括以下步驟：

步驟A、無塵車間建造：通過保溫墻板圍成密封空間；在密封空間的頂部設(shè)置吊頂，并將進風(fēng)罩固定于上述吊頂上，然后安裝進風(fēng)管、排風(fēng)管和空調(diào)機組；

步驟B、除塵；

步驟C、空氣凈化： 通過進風(fēng)管向無塵車間內(nèi)部通入過濾凈化后的新風(fēng)，同時通過排風(fēng)管將無塵車間內(nèi)部的空氣排出；

步驟D、鋪設(shè)地板：將液態(tài)的環(huán)氧樹脂傾倒于無塵車間的地面，待環(huán)氧樹脂凝固后，使得無塵車間的地面形成水平的環(huán)氧樹脂涂層地板。提升了無塵室內(nèi)部的溫度均勻性，實現(xiàn)了無塵車間的有效保溫。

.根據(jù)要所述的無塵車間的施工方法，其特征在于：所述無塵室包括空調(diào)機組(1)和由保溫墻板圍成的密封空間，上述密封空間的底部設(shè)置有水平支撐臺(3) ，密封空間的頂部設(shè)置有進風(fēng)罩(2) ，該進風(fēng)罩(2)通過進風(fēng)管(102)與空調(diào)機組(1)連通；進風(fēng)罩(2)周圍通過排風(fēng)管(103)與空調(diào)機組(1)連通。

.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無塵室的施工方法，其特征在于：所述進風(fēng)罩(2)為自上而下孔徑漸擴的通道，且進風(fēng)罩(2)下開口至上開口的高度：密封空間的高度＝1:6 .2～8 .4，進風(fēng)罩(2)下開口的孔徑:密封空間的寬度＝1:1 .4～2 .7，所述密封空間的頂部設(shè)置有至少八個出風(fēng)口，且上述至少八個出風(fēng)口圍繞進風(fēng)罩(2) 周向等間距分布，每個出風(fēng)口均通過排風(fēng)管(103)與空調(diào)機組(1)連通。

4 .根據(jù)權(quán)利要求3所述的無塵室的施工方法，其特征在于：所述進風(fēng)罩(2)的上開口設(shè)置有密封板(201) ，上述密封板(201)上設(shè)置有至少四組進風(fēng)口(202) ，每組進風(fēng)口(202)包括以密封板中心點為圓心周向等間距分布的若干個進風(fēng)口(202) ，上述至少四組進風(fēng)口(202)以同心圓形式排布，且越靠近密封板中心點相鄰兩組進風(fēng)口(202)圍成圓周之間的距離值越小，每個進風(fēng)口(202)均通過進風(fēng)管(102)與空調(diào)機組(1)連通，且進風(fēng)管(102)上設(shè)置有進風(fēng)過濾器(101)。

無塵車間，亦稱為潔凈車間，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的房間。它是污染控制的基礎(chǔ)，控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。由于集成電路芯片、太陽能光伏芯片等在生產(chǎn)時對環(huán)境要求非常高，通常需要在無塵的環(huán)境下，且控制周圍空氣的潔凈度及溫濕度，才能生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品，因此，為了使現(xiàn)有的生產(chǎn)線達到凈化要求，通常要先施工建造一個無塵室。

無塵車間的溫濕度是由組合式凈化空調(diào)器控制和調(diào)節(jié)的。然而，隨著科技日新月異的發(fā)展，尤其是集成電路生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，集成電路芯片生產(chǎn)的線寬由0 .45微米發(fā)展到0 .11微米，甚至由微米級向納米級發(fā)展，環(huán)境溫度的細微變化即可能影響生產(chǎn)工藝，導(dǎo)致成品率下降；同時，由于其生產(chǎn)工藝對潔凈度的要求很高，使得無塵室內(nèi)排風(fēng)量比較大，無塵室內(nèi)整體溫度的控制比較困難。綜上，這種無塵室需要通過高精度的溫度控制，來消除溫度變化對生產(chǎn)的影響。