混合潔凈室的特點是什么？-清陽工程

2023-03-08 15:50 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

潔凈室可以按照潔凈度等級分類，也可以按照產(chǎn)品種類分類，還可以按照氣流流型來分類。而混合流潔凈室就是按照氣流流型分類中的一種。這篇文章給大家介紹這種潔凈室的特點。

 

混合流潔凈室也叫合式潔凈室，為將亂流式和層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。

 

a.潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或者ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋，使?jié)崈舳鹊燃壖壧岣叩?/span>10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)域與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作和品質(zhì)，ULSI制程常用此種形式。

潔凈隧道有兩個優(yōu)點：彈性擴充容易、維修設(shè)備時可在維修區(qū)請以進行。

 

b.潔凈管道（Clean Tuube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提高至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)人員及發(fā)塵環(huán)境隔離，少量送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)約能源，不需要人工的自動化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品工業(yè)及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

 

c.并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10000~100000之亂流潔凈室內(nèi)的制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

潔凈工作臺：等級Class 1~100級

潔凈工作棚：為在亂流式潔凈室內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍城以小空間，采用獨立的HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較高等級的潔凈空間其等級為10~1000級，高度在2.5m，覆蓋面積在10㎡以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

 

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