中國“缺芯少屏”超級潔凈廠房的裝修建設(shè)情況,超凈潔凈廠房裝修施工在即,為應(yīng)對“缺芯少屏”現(xiàn)狀,中國所有精密廠房正緊急施工建設(shè)。
近日,昆山清陽凈化公司承建的蘇州北澤半導(dǎo)體生產(chǎn)線廠房的“心臟”——潔凈廠房開工。 “我們承建的潔凈區(qū)是該半導(dǎo)體生產(chǎn)線的五個(gè)核心潔凈區(qū)之一,總面積約9.3萬平方米,相當(dāng)于12.6個(gè)標(biāo)準(zhǔn)足球場大小,而其潔凈度要求是醫(yī)院ICU潔凈病房的10倍以上。因?yàn)樯a(chǎn)屏幕的核心設(shè)備必須在潔凈環(huán)境下工作,否則無法批量產(chǎn)出合格產(chǎn)品?!惫咀鳛椤疤K州地區(qū)第一支建筑公司”,此前建造了很多“精密電子”和“精密儀器”等超級廠房,見證了半導(dǎo)體行業(yè)的崛起。
而這次承建的高標(biāo)準(zhǔn)潔凈區(qū),在工期、設(shè)計(jì)、維管、調(diào)試上均堪稱史上最嚴(yán)標(biāo)準(zhǔn)。據(jù)悉,北澤半導(dǎo)體生產(chǎn)線廠房是目前蘇州地區(qū)投資額大的高科技廠房項(xiàng)目,在非潔凈的環(huán)境下生產(chǎn)的半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)品合格率僅為10%—15%左右。,顯示屏生產(chǎn)線廠房項(xiàng)目總建筑面積2萬平方米,5個(gè)核心廠房均各設(shè)一個(gè)潔凈區(qū),昆山清陽凈化負(fù)責(zé)的切割與偏貼廠房潔凈區(qū)最高潔凈度要求為1000級,即要求潔凈區(qū)域內(nèi)每立方英尺存在0.5μm的微塵粒子不能超過1000顆。建成后,屏幕生產(chǎn)所用的切割片、涂色和背光板組裝等系列設(shè)備將安放在此。而屏幕生產(chǎn)的核心設(shè)備曝光機(jī)所在的陣列廠房潔凈區(qū)對潔凈等級要求為100級甚至10級。此外,生產(chǎn)線車間對空氣潔凈度、溫度、濕度、防靜電、微振、光照度、噪聲等都有嚴(yán)格的參數(shù)要求。 昆山清陽凈化工程公司蔡總表示,“潔凈建造”是整個(gè)潔凈廠房建造中較難的部分,而潔凈管控是“潔凈建造”中的大難題,需要確保在建造過程中實(shí)現(xiàn)封塵、去塵、不產(chǎn)塵、不進(jìn)塵。 蔡總解釋,潔凈區(qū)建設(shè)過程中,首先使用抗靜電的防火墻密封隔離,“天”“地”“柱”要經(jīng)過打磨、涂刷多層環(huán)氧樹脂漆全部封塵。然后安裝全新通風(fēng)機(jī)組進(jìn)行正壓送風(fēng),形成潔凈區(qū)內(nèi)的正壓環(huán)境,外部微塵無法進(jìn)入,并將室內(nèi)微塵顆粒吹出潔凈區(qū)域。在建造過程中對潔凈區(qū)進(jìn)行不間斷的清潔,分階段進(jìn)行深度大保潔,為保證潔凈度的形成及保持,在一個(gè)5000平方米的千級潔凈區(qū)內(nèi)的空氣就需要經(jīng)多臺(tái)高效過濾器以每小時(shí)50—60次的頻率進(jìn)行循環(huán)過濾。在潔凈區(qū)的施工階段需進(jìn)行全過程潔凈管理,確保高科技電子廠房核心區(qū)域的“潔凈建造”。 “不同于其他廠房建設(shè),所有進(jìn)入潔凈室的施工人員都要穿著潔凈服,進(jìn)入前需在更衣室吹掉灰塵,隨時(shí)隨地有專業(yè)人員打掃擦拭。潔凈區(qū)建成后還要擦拭兩遍,竣工前經(jīng)十余項(xiàng)檢測通過后才可搬入生產(chǎn)設(shè)備?!?蔡總透露,目前施工區(qū)域正在進(jìn)行第一階段分層級地面打磨環(huán)氧和水電風(fēng)管道安裝工作?!暗孛嫒绻叩筒黄剑瑫?huì)產(chǎn)生大量灰塵微粒積壓,一個(gè)細(xì)小的微粒會(huì)直接導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢,特別是潔凈區(qū)域?qū)ζ秸鹊囊蠼蹩量蹋?平方米內(nèi)地面高差最多2毫米。”
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