潔凈廠房裝修設(shè)計(jì)平面布局的重要性

2021-05-06 13:20 昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司

潔凈廠房裝修設(shè)計(jì)平面布局的重要性

生產(chǎn)設(shè)備的平面布局也是電子潔凈廠房設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容。電子潔凈廠房無(wú)塵車間形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開(kāi)放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開(kāi)放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)相對(duì)較低。目前8英寸、12英寸芯片制造工廠普遍采用“開(kāi)放式潔凈室加微環(huán)境”的方式，將芯片制造過(guò)程對(duì)空氣潔凈度要求十分嚴(yán)格的硅片加工過(guò)程(1-4 級(jí))布置在微環(huán)境裝置內(nèi)，而開(kāi)放式潔凈室的潔凈度等級(jí)只需 5-6 級(jí)，這種潔凈室形式既可實(shí)現(xiàn)設(shè)備布置的靈活性，又能減少建設(shè)投資、降低能耗和運(yùn)行費(fèi)用。

工作人員是潔凈室內(nèi)塵埃微粒的主要來(lái)源。在工藝設(shè)計(jì)中，一方面應(yīng)該盡量選擇自動(dòng)化程度較高的生產(chǎn)及運(yùn)輸設(shè)備以便減少潔凈室內(nèi)的人員數(shù)量，另一方面，也應(yīng)該根據(jù)潔凈室內(nèi)不同的潔凈區(qū)域，合理地設(shè)計(jì)工作人員的行走路線和原材料、成品的運(yùn)輸路線以盡可能地減少交叉污染。

另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快在電子工廠的實(shí)際生產(chǎn)中在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備的情況很多，因此在進(jìn)行工藝布局時(shí)應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應(yīng)的運(yùn)作空間

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