無(wú)塵車間設(shè)計(jì)方案之十級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)

2020-10-21 08:33 昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司

無(wú)塵車間設(shè)計(jì)方案之100級(jí)無(wú)塵車間設(shè)計(jì)

本工程以上海市某電子材料公司新建潔凈廠房中無(wú)塵車間設(shè)計(jì)為例, 總凈化面積為1500 平方米, 分為更衣室 1 (gown room)、更衣室 2 (gown room)、化驗(yàn)室 1 (Wet Labora- tory) 和化驗(yàn)室 2 (Instrument Laboratory)。實(shí)驗(yàn)室面積雖然不大, 但它是整個(gè)車間工藝流程的核心部分, 凈化實(shí)驗(yàn)室能否正常運(yùn)行, 直接影響到整個(gè)產(chǎn)品質(zhì)量。工程于2020年 年6月完成施工、并全面通過(guò)靜態(tài)測(cè)試驗(yàn)收投入運(yùn)行, 到目前為止運(yùn)行良好。

無(wú)塵車間設(shè)計(jì)要求

按照 FS- 209E 標(biāo)準(zhǔn) ( FS- 209E 標(biāo)準(zhǔn)見(jiàn)表 1) , 本工程各無(wú)塵車間的潔凈等級(jí)分別為更衣室 1: Class 4.5 級(jí) ( 1000) ,  更衣室 2: Class 3.5 級(jí) ( 100) , 化驗(yàn)室 1: Class 4.5 級(jí) ( 1000) , 化驗(yàn)室 2: Class 2.5 級(jí) ( 10) 。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)裝要求: 無(wú)塵車間內(nèi)隔間吊頂及龍骨須為防腐蝕材料, 所有水泥墻表面涂裝耐腐蝕環(huán)氧樹(shù)脂防止有可能被化學(xué)氣體腐蝕, 所有與回風(fēng)相接觸的機(jī)械元件都必須用不銹鋼材質(zhì)或者與之耐腐蝕性相當(dāng)?shù)牟牧?。高效過(guò)濾器 ( HEPA) 和超高效過(guò)濾器 ( ULPA) 也要有耐腐蝕考慮。

空調(diào)要求: 安裝一套新風(fēng)處理機(jī)組, 處理的新風(fēng)供給潔凈室及安裝在潔凈室內(nèi)的蒸發(fā)罩 ( hood) , 新風(fēng)回風(fēng)混合后通過(guò) HEPA/ULPA/FFU ( 空氣處理單元) 送入潔凈室。回風(fēng)由空氣集中處理機(jī)組或干盤管處理。每個(gè)房間的空氣 壓力由集中處理單元或 FFU 控制, 根據(jù)各房間潔凈度及室內(nèi)設(shè)備、家具的位置選擇布置空氣過(guò)濾器的數(shù)量和位置, 室內(nèi)溫度及相對(duì)濕度必須可控。各房間均須設(shè)置緊急通風(fēng)

系統(tǒng)。各潔凈室各項(xiàng)具體參數(shù)要求見(jiàn)表 2。

按各房間潔凈度需求設(shè)置氣閘、風(fēng)淋室及傳遞箱。

無(wú)塵車間設(shè)計(jì)說(shuō)明

空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn), 下面來(lái)介紹此項(xiàng)目的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

化驗(yàn)室 1, 化驗(yàn)室 2 都有溫度和濕度控制要求, 空調(diào)系統(tǒng)用的新風(fēng)機(jī)組 ( MAU) 和循環(huán)空調(diào)機(jī)組 ( RCU) 的冷媒采用 7～12℃的冷凍水,   加熱采用 0.2Mpa 飽和蒸汽,   加濕采用純水電極式加濕方式。

化驗(yàn)室 2 潔凈等級(jí)為 10 級(jí), 采用新風(fēng)機(jī)組 ( MAU) + 循環(huán)空調(diào)機(jī)組 ( RCU) +超高效過(guò)濾器 ( ULPA) 的空調(diào)方式。采用的氣流形式為頂部 ( ULPA) 送風(fēng), 氣流經(jīng)高架地板孔洞至回風(fēng)夾道。ULPA 滿布濾為 100%, 化驗(yàn)室 2 對(duì)NH +、SOx 濃度有要求, 需在循環(huán)機(jī)組 ( RCU) 內(nèi)增設(shè)化學(xué)過(guò)濾器。10 級(jí)凈化間的氣流流程為: 新回風(fēng)混合→活性碳濾器→中效過(guò)濾器 ( 95%) →表冷器→送風(fēng)機(jī)→消聲器→ 亞高效過(guò)濾器 ( 99.97%)  →送風(fēng)靜壓箱→超高效過(guò)濾器( 99.999995%) →潔凈區(qū)→高架地板→回風(fēng)夾道→回風(fēng)管→ 新回風(fēng)混合。為避免房間酸性氣體一旦泄漏造成人員傷亡, 設(shè)緊急排氣風(fēng)機(jī)。新風(fēng)接至 MAU- 1 新風(fēng)機(jī)組