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百級潔凈室對應(yīng)的ISO標(biāo)準(zhǔn)是ISO 5級。ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)對潔凈室的潔凈度等級進(jìn)行了劃分,百級潔凈室即為其中的ISO 5級。
這一標(biāo)準(zhǔn)是為了有效控制潔凈室內(nèi)空氣中顆粒物的濃度而制定的,對潔凈室的壓力、溫度、濕度、氣流速度等參數(shù)也有明確的要求。例如,室內(nèi)正壓通常為5~15Pa,溫度應(yīng)控制在18~25℃,相對濕度為45~65%。同時,對于百級潔凈室,其空氣中允許的最大顆粒物濃度也有具體規(guī)定,包括不同粒徑顆粒物的允許數(shù)量。因此,在設(shè)計和建造百級潔凈室時,需要遵循ISO 5級的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和要求,以確保其達(dá)到所需的潔凈度水平。
ISO5級潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)是,每立方米內(nèi),大于或等于0.5微米的微粒數(shù)量應(yīng)低于3.520個,這與Fed Std.209E標(biāo)準(zhǔn)中的100(百)級潔凈度相當(dāng)。在ISO5級潔凈室中,我們強(qiáng)烈推薦廣泛采用電離設(shè)備,以有效中和靜電。潔凈室內(nèi)的工作人員必須身著無塵服,這種服裝需全面覆蓋人體的身體、頭部、面部、手部和眼睛,確保無塵環(huán)境。在工作站和生產(chǎn)線現(xiàn)場,我們可以觀察到所有離子消除設(shè)備的安裝與運作。我們應(yīng)盡量避免在無塵室內(nèi)使用可能產(chǎn)生污染的含碳材料以及含有銨基的抗靜電劑材料及其相關(guān)產(chǎn)品。由于導(dǎo)電聚合物具備不依賴吸濕性以及在非極性溶劑中清洗時仍能維持其抗靜電性能的優(yōu)勢,因此在潔凈室中得到了廣泛應(yīng)用。
在進(jìn)入ISO5級潔凈室前,物品必須經(jīng)過嚴(yán)格的清洗和二次包裝,隨后通過風(fēng)淋室進(jìn)行凈化處理。工作人員佩戴的手套必須完全覆蓋手臂,確保沒有裸露的皮膚。值得注意的是,氨基抗靜電劑材料中的氨基成分可能會對器件表面造成污染,因此乙烯基抗靜電桌墊只能在潔凈室內(nèi)使用,除非其不含有此類抗靜電劑。此外,未經(jīng)凈化的普通紙和筆也不得在潔凈室內(nèi)使用。
為了確保潔凈室的正常運行和產(chǎn)品質(zhì)量,制造商應(yīng)配備一名或多名專業(yè)的凈化控制工程師,負(fù)責(zé)處理靜電放電(ESD)問題和去污問題。對于那些體積較大,無法使用雙層袋包裝的設(shè)備,在進(jìn)入潔凈室之前,必須使用70%的非極性清潔劑進(jìn)行擦拭或用去離子水進(jìn)行清洗,以確保其表面的清潔度符合潔凈室的要求。
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