HEPA和ULPA 過濾器的檢漏方法有哪些？

2023-11-21 15:55 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

HEPA 是高效過濾器的簡稱，而ULPA是超高效過濾器的簡稱。這兩種過濾器都是潔凈室會經(jīng)常的使用到的。那么HEPA和ULPA 過濾器的檢漏方法有哪些？

 

當(dāng)前對 HEPA 過濾器測試方法主要有：

1、DOP 法。

此法是以光度計作檢測，測試用氣溶膠必須是單分散 (0.31μm) 的DOP 或其替代的DOS等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的。此法靈敏度不如粒子計數(shù)法，只能用于效率 99.99 ％（0.3μm）及 99.999 ％ （0.3μm）的HEPA過濾器的測試。

2、粒子計數(shù)法。

此法是以離散粒子計數(shù)器（DPC）作為檢測儀器，測試用氣溶膠可以是單分散或多分散液體或固體物質(zhì)，選擇范圍較寬，常用多分散氣溶膠，如DOP或其替代的DOS等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的，亦常用 SPL（聚苯乙烯乳膠球 ）固體物質(zhì)所發(fā)生的 0.1-0.2p,m粒徑的氣溶膠。此法靈敏度較高，目前主要用于ULPA 過濾器其η≥99.999 ％（0.1-0.2μm）的測試，當(dāng)然亦可用HEPA 過濾器的測試。替代 DOP 法當(dāng)已是趨勢。

3、MPPS法。

此法是歐盟ENl822標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的，亦是以DPC作為檢測儀器，測試用氣溶膠要求同2。其與粒子計數(shù)法的區(qū)別主要在于：以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑，HEPA和ULPA 纖維過濾器在某一粒徑下其過濾效率會出現(xiàn)最低，這是因為在此粒徑下擴散機理與慣性機理對過濾器所起的過濾作用，兩者都達到很低，此粒徑與過濾器的濾料、給結(jié)構(gòu)及濾速有關(guān)，一般在 0.1-0.3μm 間，對ULPA過濾器常為0.1-0.2μm；過濾器測試時，需先測定濾料的MPPS：另外，其對過濾器效率的測試不是采用整體測試，而是掃描測試每一處的局部穿透率然后統(tǒng)計處理（按95 ％置信度）得出整體穿透率及整體效率。更大允許局部穿透率比整體的高 5倍或更多。此法用于HEPA和ULPA過濾器的測試，其靈敏度比一般粒子計數(shù)法還高，更接近實際，在測效率的同時亦解決了掃描檢漏。

4、鈉焰法。

此法采用火焰光度計，它對NaCl燃燒的火焰色度（相當(dāng)于NaCl的質(zhì)量）作響應(yīng)，NaCl質(zhì)量粒徑分布在0.02-2μm間或更狹一些。其質(zhì)量平均粒徑 (MMD) 在 0.5-0.6μm間。此法靈敏度低，且NaCl對微電子工廠的產(chǎn)品質(zhì)量有害，因此國外早已不用。