潔凈室溫濕度異常分析與改善

2022-10-26 11:13 昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司

某半導(dǎo)體企業(yè)無(wú)塵車間出現(xiàn)了溫濕度異常，怎么去分析與改善這種情況呢？今天清陽(yáng)小編帶大家了解一下半導(dǎo)體潔凈室溫濕度異常分析與改善；

某半導(dǎo)體無(wú)塵車間廠務(wù)值班室4月以來(lái)接組裝西區(qū)產(chǎn)線電話,反饋個(gè)別區(qū)域溫度偏高。值班人員分別作以下動(dòng)作：進(jìn)線調(diào)節(jié)風(fēng)閥；調(diào)整AHU送風(fēng)溫度；調(diào)整AHU頻率；檢查回風(fēng)等動(dòng)作?，F(xiàn)對(duì)改善效果及日常潔凈室溫濕度控制問(wèn)題分析方法及節(jié)能運(yùn)行狀況進(jìn)行匯總分析，以提升運(yùn)行值班人員處理問(wèn)題效率和節(jié)約潔凈室空氣調(diào)節(jié)運(yùn)行能耗。

實(shí)際測(cè)試數(shù)據(jù)如下：

如上述統(tǒng)計(jì)可以看出位于組裝西區(qū)靠近組裝辦公室的區(qū)域溫濕度比較差一直處于超標(biāo)狀態(tài)，并且之前的溫濕度調(diào)節(jié)改善動(dòng)作有效性比較差。該問(wèn)題在滁州廠區(qū)潔凈室環(huán)境控制具有代表性,故作分析如下供參考:

   

原因分析	效果確認(rèn)	影響	責(zé)任人
A外氣溫度偏高低	外氣溫濕度無(wú)劇烈變化	小
B熱水溫度	熱水溫度35-40℃	小	運(yùn)行值班
C冷凍水溫度	冷凍水溫度7-12℃	小	運(yùn)行值班
D高效濾網(wǎng)	待測(cè)試風(fēng)速確認(rèn)是否堵塞,無(wú)風(fēng)量	大	TXW
E調(diào)節(jié)MAU濕度設(shè)定	送風(fēng)溫度14℃，濕度94%	小	運(yùn)行值班
F調(diào)節(jié)AHU溫度設(shè)定	送風(fēng)溫度16.5℃	小	運(yùn)行值班
G溫濕度傳感器	定期比對(duì)	小	運(yùn)行值班
H送風(fēng)閥門	需要通過(guò)風(fēng)速測(cè)試后確認(rèn)是否開(kāi)啟正確	大	運(yùn)行值班
I AHU/MAU	組裝區(qū)域AHU/MAU已經(jīng)全部開(kāi)啟至滿負(fù)荷狀態(tài)，存在容量缺口	大	工程改造
J回風(fēng)濾網(wǎng)	定期檢查清洗	大	運(yùn)行值班
K回風(fēng)是否通暢	1.回風(fēng)墻側(cè)無(wú)堵塞 2.產(chǎn)線中部區(qū)域遠(yuǎn)離回風(fēng)口，確實(shí)有空氣流通不暢狀況	小 大	運(yùn)行值班 維修
M溫濕儀量測(cè)	使用廠務(wù)現(xiàn)有溫濕儀進(jìn)行量測(cè)，	小	運(yùn)行值班
N 員工技能	溫濕度調(diào)節(jié)由值班長(zhǎng)和能管員進(jìn)行調(diào)節(jié)	小	運(yùn)行值班

針對(duì)影響大的4種原因的確認(rèn)和糾正措施：

一.送風(fēng)閥門的開(kāi)啟確認(rèn)：經(jīng)過(guò)在夾層檢查確認(rèn)目前送風(fēng)閥門有以下幾種狀況：

狀況1．風(fēng)閥開(kāi)啟狀況不在開(kāi)的位置，閥芯開(kāi)啟狀況待確認(rèn)風(fēng)量。

狀況2.開(kāi)啟過(guò)度：從外觀來(lái)看閥門處于過(guò)度開(kāi)啟位置，閥芯狀況如何需要量測(cè)風(fēng)量確認(rèn)

狀況3.閥門表觀看上去是在關(guān)閉位置，先調(diào)整到開(kāi)啟位置，再確認(rèn)送風(fēng)量。

二. 高效濾網(wǎng)堵塞：

現(xiàn)象:在確認(rèn)風(fēng)閥開(kāi)啟正常狀況下，用風(fēng)速儀測(cè)試風(fēng)速比較低，或沒(méi)有風(fēng)速，此種狀況多數(shù)為高效堵塞或吊柜機(jī)組運(yùn)行異常。

針對(duì)以上四種狀況糾正措施：

請(qǐng)購(gòu)風(fēng)速儀對(duì)潔凈室的高效出風(fēng)口逐臺(tái)測(cè)試風(fēng)速。找出風(fēng)速低的風(fēng)口，通過(guò)對(duì)講機(jī)通知夾層的人員確認(rèn)風(fēng)閥的開(kāi)啟狀況。調(diào)整后做好標(biāo)識(shí)，便于后續(xù)的檢查操作。

存在另一種狀況：風(fēng)閥開(kāi)啟調(diào)節(jié)沒(méi)有效果。產(chǎn)生此狀況原因分兩種：

A 風(fēng)閥閥芯脫落，改善措施：需要拆卸閥門維修。

B 高效堵塞，需要拆卸后檢查更換確認(rèn)。

糾正措施：

通過(guò)更換高效并對(duì)比更換前后風(fēng)速并做好記錄保存作為資料供后續(xù)參考。

三．回風(fēng)是否通暢

        現(xiàn)象1：

     建廠初期設(shè)計(jì)的回風(fēng)通道因設(shè)備布局和房間的布局調(diào)整，已經(jīng)影響或堵塞導(dǎo)致回

     風(fēng)不順暢。導(dǎo)致局部區(qū)域溫度調(diào)節(jié)能力減弱。影響環(huán)境溫度和潔凈度。

回風(fēng)濾網(wǎng)堵塞,回風(fēng)不暢導(dǎo)致區(qū)域溫濕度異常.現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試發(fā)現(xiàn)組裝西北側(cè)回風(fēng)堵塞嚴(yán)重,正?；仫L(fēng)風(fēng)速:>2.3m/s;

三.回風(fēng)是否通暢

糾正措施：

A定期檢查清洗回風(fēng)濾網(wǎng)

B不影響生產(chǎn)情況下移開(kāi)擋塞物或設(shè)備

C確認(rèn)是否有預(yù)留回風(fēng)地道，安裝調(diào)整回風(fēng)地板

D必要時(shí)改建安裝回風(fēng)道

四.AHU/MAU

現(xiàn)象：

組裝西區(qū)空調(diào)箱由AHU-2-28；AHU-2-29；AHU-2-30；AHU-2-31；AHU-2-32；AHU-2-34；AHU-2-38及新風(fēng)機(jī)組MAU-2-15組成，風(fēng)機(jī)頻率已經(jīng)全部開(kāi)啟到滿頻。系統(tǒng)容量已經(jīng)滿負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)對(duì)潔凈室環(huán)境溫度調(diào)節(jié)只能依靠調(diào)整冷凍水溫度維持，增加了冷凍機(jī)運(yùn)行能耗。為此組裝西區(qū)安裝了吊柜式空調(diào)箱彌補(bǔ)AHU/MAU容量不足。從實(shí)際效果來(lái)看略有改善沒(méi)有徹底解決組裝西區(qū)冷負(fù)荷容量不足問(wèn)題。

改善措施：

AHU/MAU調(diào)節(jié)檢查確認(rèn)內(nèi)容如下：

A冷凍水閥門開(kāi)啟狀況,冷凍水閥門開(kāi)啟不足將導(dǎo)致冷盤溫度調(diào)節(jié)能力下降.

B冷凍水過(guò)濾器是否堵塞

C冷盤是否結(jié)垢,結(jié)構(gòu)影響制冷量

D初中效是否堵塞,堵塞影響送風(fēng)量,導(dǎo)致空調(diào)箱體靜壓過(guò)高,增加風(fēng)機(jī)負(fù)荷浪費(fèi)電力

E空調(diào)箱進(jìn)回風(fēng)閥門開(kāi)啟確認(rèn)

F MAU表冷、加熱、預(yù)熱、再熱溫度設(shè)定是否合理（在后面另單獨(dú)分析），如設(shè)定有沖突將導(dǎo)致  加濕效果差，同時(shí)增加電力、蒸汽能耗。

G 吊柜式空調(diào)箱風(fēng)閥開(kāi)啟狀況；冷凍水閥門開(kāi)啟裝開(kāi)啟狀況；冷凍水Y過(guò)濾器是否堵塞。

五：潔凈室溫濕度調(diào)節(jié)原理及MAU濕度調(diào)節(jié)與節(jié)能

A組裝西區(qū)潔凈室溫度調(diào)節(jié)是：

AHU循環(huán)機(jī)組將潔凈室的空氣通過(guò)回風(fēng)通道回收至總管進(jìn)入AHU混合U處理過(guò)的新風(fēng)，

通過(guò)表冷器翅片和經(jīng)過(guò)表冷器的冷凍水進(jìn)行冷熱交換，通過(guò)風(fēng)機(jī)加壓后經(jīng)送風(fēng)管、

高效過(guò)濾器（HEPA）送入潔凈室。

序號(hào)	糾正措施	改善前	改善后	完成日期	責(zé)任人	確認(rèn)結(jié)果
1	高效濾網(wǎng)風(fēng)量測(cè)試	部分風(fēng)速無(wú)或<0.4m/s	待更換
2	送風(fēng)閥門開(kāi)啟狀況確認(rèn)	部分故障或未開(kāi)啟	已開(kāi)啟
3	回風(fēng)是否通暢	部分堵塞回風(fēng)風(fēng)速 <2.5m/s	回風(fēng)風(fēng)速 >2.5m/s
4	AHU/MAU狀況檢查	待進(jìn)行
5	異常原因分析及節(jié)能運(yùn)行資料整理及培訓(xùn)	資料已整理待培訓(xùn)

清陽(yáng)工程是一家專業(yè)凈化工程公司，16年專業(yè)建設(shè)無(wú)塵車間、凈化車間、潔凈廠房、gmp車間、無(wú)菌車間，我們擁有專業(yè)二級(jí)施工資質(zhì)和專業(yè)的設(shè)計(jì)施工團(tuán)隊(duì)，并且有過(guò)400多家凈化工程的成功案例，經(jīng)驗(yàn)也是很豐富的。電子無(wú)塵車間是我們做的比較多的一個(gè)行業(yè)，涉及各種產(chǎn)品和潔凈度，所以找我們還是具備比較多的優(yōu)勢(shì)的。聯(lián)系方式：在線客服或電詢18915730122，我們期待您的洽談合作。