半導(dǎo)體凈化廠房高效過濾器的安裝

2021-03-31 08:27 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

半導(dǎo)體凈化廠房高效過濾器的安裝

高效過濾器是空氣潔凈系統(tǒng)的關(guān)鍵部件， 目前國內(nèi)采用的濾料為超細玻璃纖維紙和超細石棉纖維紙，用以過濾粗、中效過濾器不能過濾的而且含量最多為1um 以下的亞微米級微粒，保證潔凈房間的潔凈要求。為保證過濾器的過濾效率和潔凈系統(tǒng)的潔凈效果，高效過濾器安裝必須遵守《無塵車間施工及驗收規(guī)范》或設(shè)計圖的要求。

1. 安裝前的準備工作

為防止高效過濾器受到污染，開箱檢查和安裝時，必須在空氣潔凈系統(tǒng)安裝完畢，空調(diào)器、高效過濾器箱、風管內(nèi)及潔凈房間經(jīng)過清掃，空調(diào)系統(tǒng)各單體設(shè)備試運轉(zhuǎn)后及風管內(nèi)吹出的灰塵量穩(wěn)定后才能進行。過濾器安裝前，要檢查過濾器框架或邊口端面的平直性， 端面平整度的允許偏差，每只不應(yīng)大于1mm。如端面平整度超過允許偏差時，只允許修改或調(diào)整過濾器安裝的框架端面，不允許修改過濾器本身的外框，否則將會損壞過濾器中的濾料或密封部分，降低過濾效果。

2. 安裝要求

高效過濾器安裝時，應(yīng)保證氣流方向與外框上箭頭標志方向一致。用波紋板組裝的高效過濾器在豎向安裝時，波紋板必須垂直地面，不得反向。高效過濾器與組裝高效過濾器的框架，其密封一般采用頂緊法和壓緊法兩種。對于潔凈度要求嚴格的10級以上潔凈系統(tǒng)，有的采用刀架式高效過濾器液槽密封裝置。

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