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電子潔凈車間凈化安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
電子車間凈化安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三:
1. 生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng):
a. 要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備,尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。
b. 應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c. 生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應(yīng)配備過濾裝置。
d. 規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí),事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu),規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e. 真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備,應(yīng)設(shè)置在電子車間凈化安裝外面或回風(fēng)區(qū),并加裝排氣管線排氣。
f. 設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí),其構(gòu)造須考慮到容易清潔, 不易積累污染物。
g. 生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃,以避免微塵之堆積。
h. 應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制,避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i. 當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行,并加隔離柵隔離。
j. 對于施工或維修之廠商,應(yīng)告知進(jìn)出電子車間凈化安裝之各項(xiàng)規(guī)定,且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k. 應(yīng)有電子車間凈化安裝專用工具組,但不得帶出電子車間凈化安裝外使用。
l. 規(guī)劃空間時(shí)若能臨近電子車間凈化安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室,將是一理想之規(guī)劃。
2. 生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施:
a. 磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因,故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b. 易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備,若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c. 在操作時(shí),盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d. 不得有太大或不必要的操作動(dòng)作,以免卷起附近之灰塵。
e. 各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f. 為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3. 自動(dòng)化與無塵化:
a. 設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng),可減少人員方面所帶來的污染,唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴,須詳加評(píng)估。
b. 建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入電子車間凈化安裝人員的資格限定,電子無塵車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則,電子車間凈化安裝管理規(guī)則等,這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述,此處不再說明。
在電子車間凈化安裝之維護(hù)管理方面,可分三部分加以說明:
1. 建筑物之維護(hù)管理:
a. 建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b. 地板之清掃管理及損壞更新。
c. 隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。
d. 窗戶及門之保養(yǎng)等。
2. 環(huán)境測定與管理:
電子車間凈化安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測,以確實(shí)掌握質(zhì)量,若有數(shù)據(jù)異常,可立即做緊急處理。
3. 防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理:
a. 溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面以述及,唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn),若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須做局部測量。
b. 過濾網(wǎng)之管理:定期檢查及更換
c. 空氣調(diào)節(jié)器管理:定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況,冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d. 送風(fēng)機(jī)之管理:定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。
e. 風(fēng)管及出風(fēng)口之管理:檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f. 測試及量測儀器管理:定期校正及保養(yǎng)。
g. 室內(nèi)壓力管理:連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄,以維持正壓為基準(zhǔn)。
h. 冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析,以調(diào)整加藥量等。
i. 電子車間凈化安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理:啟動(dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測試,須電子車間凈化安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時(shí)再開始作業(yè)。
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