芯片萬級潔凈車間裝修工程構(gòu)成部分和系統(tǒng)解說

2021-01-09 14:27 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

芯片萬級潔凈車間裝修工程構(gòu)成部分和系統(tǒng)解說

無塵室的等級分類各有不同， 在設(shè)計施工中可根據(jù)實際需要來操作。 清陽凈化解析萬級無塵室的系統(tǒng)構(gòu)成。

萬級無塵室隔間分為三大部分： 更衣室、 千級區(qū)和百級區(qū)。 更衣室與千級區(qū)， 千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower) ， 芯片凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox) 。 當(dāng)人員進入無塵室時， 首先要經(jīng)過風(fēng)淋室， 對人體所帶的灰塵吹淋， 減少人員帶入無塵室的灰塵， 傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋，達到落塵的效果，風(fēng)系統(tǒng)、 水系統(tǒng)、 控制系統(tǒng)和其他系統(tǒng)

1、 風(fēng)系統(tǒng)

系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU 系統(tǒng).

（1） 全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

（2） FFU: (FAN FILTER UNIT) 即風(fēng)機和過濾器千級區(qū)過濾器采用 HEPA， 過濾效率99. 997%, ， 百級區(qū)過濾器采用 ULPA， 過濾效率99. 9995%

2、 水系統(tǒng)

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè)。

一次側(cè)冰水水溫7-12度, 供給空調(diào)箱和風(fēng)機盤管, 二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).

一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個不同的回路, 之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理(現(xiàn)場畫圖) .

干盤管: 不結(jié)露的盤管， 因無塵室溫度在22度， 其露點溫度12度左右， 故7度冰水不能直接進入無塵室， 所以進干盤管的冰水溫度在12-14度。

3、 控制系統(tǒng)(DDC)

溫度： 干盤管系統(tǒng)控制

濕度: 空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號， 控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量

正壓： 空調(diào)箱調(diào)節(jié), 根據(jù)靜壓感測的信號， 自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達變頻器的頻率， 從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風(fēng)量.

4、 其他系統(tǒng)

不只是空調(diào)系統(tǒng), 無塵室系統(tǒng)中還包括有真空， 空壓， 純水， 廢水， 二氧化碳系統(tǒng)， 制程排氣系統(tǒng)。

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