潔凈車間裝修公司半導(dǎo)體行業(yè)潔凈度控制

2020-11-02 09:49 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

潔凈車間裝修公司半導(dǎo)體行業(yè)潔凈度控制

在半導(dǎo)體器件晶圓的制造過程中，其易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結(jié)構(gòu)、電子特性等的產(chǎn)品特點決定了 其制造過程必須有潔凈度的要求，而經(jīng)過長期的實踐分析，我們發(fā)現(xiàn)在半導(dǎo)體晶圓測試的過程中，測試間也必須置于潔凈室中，潔凈度的控制也同樣重要。潔凈室的潔凈度控制不好時，會導(dǎo)致空氣中的含塵量過高，從而導(dǎo)致外來物的增加，進而影響測試時的良率和穩(wěn)定性甚至?xí)?dǎo)致探針測試卡的損壞。

潔凈車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣 的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造， 此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是 說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。

晶圓測試時常見的外來物問題

當(dāng)潔凈車間的潔凈度控制沒有嚴格按照要求執(zhí)行時，我們發(fā)現(xiàn)在晶 圓測試過程中，除了良率不佳及測試不穩(wěn)定外，在探針測試卡上還經(jīng)常會發(fā)現(xiàn)外來物的存在，有些甚至是肉眼可見的。 這些肉眼可見的外來物，嚴重時甚至?xí)?dǎo)致探針測試卡的損毀、晶圓 的報廢，帶來較大損失。

問題分析及改善措施

針對這一問題，經(jīng)過半年的數(shù)據(jù)統(tǒng)計，我們發(fā)現(xiàn)探針測試上出現(xiàn) 過外來物共45起，幾乎在所有的測試機臺上都出現(xiàn)過這亠問題，但是 通過對事故高發(fā)機臺及機臺在測試間的位置分布的進一步分析，可以 發(fā)現(xiàn)外來物的出現(xiàn)有如下規(guī)律：

人員走動頻繁的區(qū)域更易出現(xiàn)外來物。

離潔凈車間出口近的機臺更易出現(xiàn)外來物。

有大電壓、大電流測試的機臺更易出現(xiàn)外來物。

依據(jù)這一分析結(jié)果，為進一步更加嚴格控制潔凈室的潔凈度以達 到減少外來物的目的，除要求工作人員嚴格遵守常規(guī)進出潔凈室的規(guī)定外，采取了如下改進措施：

蛍出車間必須進行風(fēng)淋20秒。

口罩、手套每兩小時更換一次。

潔凈室釆取里外間，以緩沖人員頻繁走動帶來的外來物。

增加測試機臺定期維護的頻率，定期維護時必須對機臺內(nèi)部用潔凈室專用吸塵器進行清潔"吸塵器的濾芯需定期更換。

探針測試卡非生產(chǎn)狀態(tài)時使用專用卡盒保護，卡和卡盒都需定期清潔，且使用前后都要檢査有無外來物的存在并及時清潔。

經(jīng)過一段時間的跟蹤觀察，以上改善措施收到了良好的結(jié)果，探針測試卡上的外來物大大減少，測試的良率及穩(wěn)定性均得到改善。

結(jié)論

潔凈車間的潔凈度控制在半導(dǎo)體的整個工藝過程中都極為重要。在前期晶圓制造的過程中，它起著至關(guān)重要的作用，沒有潔凈室，我們就無法進行生產(chǎn)。而在后段晶圓測試等的過程中，雖然它不會像前段 一樣起著決定性的作用，但是如果管理控制不好，同樣會導(dǎo)致產(chǎn)品的 損毀及報廢，帶來經(jīng)濟損失，所以我們一定要重視半導(dǎo)體測試間的潔凈度控制。