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潔凈室高效過濾器撿漏方法-清陽工程

2023-03-13 11:42 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

高效過濾器常見的一種凈化設(shè)備,主要用來凈化和過濾進(jìn)入車間內(nèi)的空氣,以此達(dá)到車間潔凈的目的,所以對這種設(shè)備的撿漏也是很重要的。這篇文章講講潔凈室高效過濾器撿漏方法。

 

高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能實驗檢測(如DOP實驗等),對于5級(100級)以上潔凈室所使用的高效過濾器,在現(xiàn)場應(yīng)再次進(jìn)行高效過濾器本體的性能檢測,同時進(jìn)行檢漏試驗以確認(rèn)高效過濾器是否正確安裝。在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中(如0.1μm,1級),由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾,經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(1000級)的程度,因此,在這種情況下,就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。

 

檢測要求。一般采取粒子計數(shù)器法進(jìn)行檢漏,被檢高效過濾器必須已檢測過風(fēng)量,并在設(shè)計風(fēng)速的80%120%之間進(jìn)行。對于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合下列要求:

對受控微粒≥0.5m的濃度,≥3.5×104pc/L

對受控微粒≥0.1m的濃度,≥3.5×1063.5×107pc/L。

采用掃描法對高效過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測,檢測點應(yīng)距被測表面2030毫米,測頭以520mm/s的速度移動,對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描,粒子計數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。

 

潔凈室高效過濾器的的撿漏一般是通過檢測設(shè)備來進(jìn)行的,常見的主要有這三種:光散射粒子計數(shù)器、激光粒子計數(shù)器凝聚核粒子計數(shù)器。每種設(shè)備都有其自身的優(yōu)缺點,我們在選擇設(shè)備的時候要結(jié)合車間的實際情況去選擇。

 

潔凈室的裝修建設(shè)是一項較為復(fù)雜的工作,每個步驟都是環(huán)環(huán)相扣的,一步?jīng)]做到位就會影響車間整體的功效。這個時候?qū)I(yè)靠譜有經(jīng)驗的裝修公司就顯得尤為重要了。清陽工程是江蘇昆山的一家專業(yè)的凈化工程公司,成立于2007年,具備二級總承包資質(zhì)和機(jī)電工程三級資質(zhì),從事凈化工程領(lǐng)域16年來,累計了近500家工程案例,施工經(jīng)驗豐富。我們擁有專業(yè)的百人團(tuán)隊,都是有資質(zhì)的經(jīng)過培訓(xùn)的人員,工作細(xì)致認(rèn)真負(fù)責(zé),我們的工程也得到了廣大顧客的一致好評。歡迎聯(lián)系在線客服或電詢18915730122了解更多詳情。



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