特氣系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范

2022-10-28 10:53 昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司

特種氣體    用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體系統(tǒng)  特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱。

特種氣體間  是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過(guò)管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

特種氣體站房

1　一般規(guī)定

1.1  特種氣體站房包括布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間。

1.2  布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。

1.3  在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間內(nèi)的最大允許儲(chǔ)存量見(jiàn)表1.1.3，當(dāng)生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的氣體儲(chǔ)量超過(guò)規(guī)定數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體站。

表1.1.3　生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)最大允許儲(chǔ)存量

序號(hào)	氣體種類(lèi)	氣體總量[1]立方米
1	可燃?xì)怏w	56
2	毒性氣體	92
3	劇毒性氣體	1.1
4	自燃?xì)怏w	2.8
5	氧化性氣體	170
6	腐蝕性氣體	92

說(shuō)明:   [1] 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積量.

1.4  集合工藝設(shè)備的布置情況，生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓靠外墻的區(qū)域。

1.5  低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。

1.6  布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、槽車(chē)、長(zhǎng)管拖車(chē)向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。

2　氣體站房分類(lèi)

2.1  特種氣體依其物性及安全特性，將其分為可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性氣體。

2.2  布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間。

2.3  獨(dú)立布置的特種氣體站有硅烷站、氨氣站等。

3　特種氣體設(shè)備的布置

3.1  不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里，如果布置在同一房間，氣瓶柜架之間的距離應(yīng)大于6米。

3.2  同時(shí)具有可燃性和毒性氣體應(yīng)放在可燃性氣體間

3.3  特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、就地尾氣處理裝置、氣瓶集裝格宜靠墻布置，具有相同或相近氣體性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)布置在一起。

3.4  特種氣體間的中間通道寬度不得小于2米，特氣柜與墻體之間的距離宜大于0.1m，特氣柜之間的距離宜大于0.1m,氣瓶集裝格宜靠墻布置。布置應(yīng)考慮維修與運(yùn)轉(zhuǎn)空間。

3.5  硅烷站內(nèi)長(zhǎng)鋼瓶拖車(chē)宜放置在硅烷站的室外空曠地坪。

3.6  特種氣體系統(tǒng)的電氣控制盤(pán)、儀表控制盤(pán)的布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1  應(yīng)布置在與特種氣體供應(yīng)設(shè)備室相鄰的控制室內(nèi)，隔墻上可以設(shè)置防爆密閉觀查窗。

2  控制室應(yīng)以耐火極限不小于2h的隔墻和不低于1.5h的樓板與特種設(shè)備間隔開(kāi)，穿越隔墻的管道應(yīng)以防火材料填堵。

2特種氣體工藝系統(tǒng)

2.1　一般規(guī)定

2.1.1  電子工廠的特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置：

1. 儲(chǔ)存與送氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；

2. 氣體輸送與分配用閥門(mén)箱或閥門(mén)盤(pán)；

3. 輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；

4. 尾氣排放處置系統(tǒng)。

2.1.2  特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特種氣體使用的安全操作、工藝參數(shù)、污染控制的要求。

2.1.3  不相容的特種氣體的排氣管道不應(yīng)接入同一排氣系統(tǒng)。

2.1.4  不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不應(yīng)接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。

2.2　特種氣體輸送系統(tǒng)

2.2.1  特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜與氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

1  自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的氣瓶柜用氣瓶容積不得大于50L；

2  氧化性和惰性氣體的氣瓶架用氣瓶容積不得大于50L；

3  氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚▎纹渴剑?、雙工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚p瓶式）、雙工藝氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚ㄈ渴剑┑榷喾N結(jié)構(gòu)配置；

4  不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

5  氣瓶柜與氣瓶架應(yīng)設(shè)有分配、作業(yè)用氣體面板，氣體面板的要求詳見(jiàn)4.2.2條；

6  系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過(guò)相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；

7  氣瓶柜閉門(mén)時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，其排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/小時(shí)；

8  自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測(cè)器；

9  氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm，并有防腐蝕涂層。

10  氣瓶柜門(mén)應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗；

11  氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)示牌；

12  氣瓶柜地腳螺栓的設(shè)計(jì)要滿足當(dāng)?shù)氐卣鹆叶鹊囊蟆?/span>

13  當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的規(guī)定。

2.2.2  特種氣體氣瓶柜與氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1  自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門(mén)，并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門(mén)，位置盡量靠近氣瓶端；

2  氣瓶壓力大于0.1MPa的自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過(guò)流開(kāi)關(guān)；

3  自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃系統(tǒng)；

4  自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有輔助抽真空裝置，該管路必須設(shè)置止回閥；

5  各種特種氣體面板均應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口；

2.2.3  可燃特種氣體氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)符合下列要求

1. 硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次／小時(shí)。氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)持續(xù)監(jiān)控；

2. 自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外紅外火焰探測(cè)器；

3. 可燃與自燃性氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，但是ClF3氣瓶柜不應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4. 自燃性氣體氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

2.2.4  大宗特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列裝置

1  獨(dú)立設(shè)置的氣（液）瓶、儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管拖車(chē)及其壓力指示或鋼瓶稱重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜?/span>

2  大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的其它功能配備應(yīng)符合第4.2.1條的規(guī)定；

3  大宗特種氣體輸送系統(tǒng)的供應(yīng)能力必須經(jīng)過(guò)相應(yīng)的熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；

4  大宗特種氣體輸送系統(tǒng)宜單獨(dú)建站，或置于單獨(dú)的氣體房，并考慮消防間距和物流通道等；

5  液化氣體瓶的大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)合適的鋼瓶加熱與保溫裝置。

6  大宗特種氣體應(yīng)考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。

2.2.5  液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)

1  液態(tài)特種氣體系統(tǒng)包括獨(dú)立放置的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、推動(dòng)氣體單元、載氣單元、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜與溫度控制裝置。

2  液態(tài)特種氣體輸送系統(tǒng)利用推動(dòng)氣體的靜壓力或者采用泵，將液體化學(xué)品從大包裝槽罐里輸送至液體輸送柜里的小包裝液罐，或者將小包裝液罐里的液體直接推動(dòng)輸送至用液點(diǎn)。用液點(diǎn)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液體化學(xué)品鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備。

3  液態(tài)特種氣體輸送柜必需的其他功能配備應(yīng)符合第4.2.1條的規(guī)定。

2.2.6  特種氣體系統(tǒng)的閥門(mén)箱和閥門(mén)盤(pán)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定

1  自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體系統(tǒng)的閥門(mén)箱應(yīng)設(shè)有：

1）進(jìn)氣管路隔離閥門(mén)及壓力指示單元；

2）各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)、過(guò)濾器、過(guò)流開(kāi)關(guān)單元；

3）各分支路獨(dú)立的進(jìn)出口隔離閥門(mén)；

4）各分支路獨(dú)立的吹掃氮?dú)饣蚨栊詺怏w單元；

5）各分支路獨(dú)立的輔助抽真空單元等

2  惰性及氧化性氣體系統(tǒng)的閥門(mén)盤(pán)應(yīng)設(shè)有：

1）進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示單元；

2）各分支路獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器；

3）各分支路獨(dú)立進(jìn)出口隔離閥門(mén)。

2.3　吹掃和排氣系統(tǒng)

2.3.1  特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置，應(yīng)符合下列要求：

1  自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接，不得與公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連；

2  不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?/span>

3  吹掃氮?dú)夤芫€必須設(shè)置止回閥。

2.3.2  吹掃氮?dú)獾臍怏w面板設(shè)置包括下列部件：

1）壓力調(diào)節(jié)閥；

2）排氣管；

3）高低壓截止閥；

4）高低壓壓力指示；

5）安全閥

2.3.3  特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

1  真空發(fā)生器宜采用氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)抽真空功能；

2  抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)馓峁?/span>

2.3.4  工藝排氣與廢氣處理

1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃，防止空氣倒流造成污染和腐蝕。

2 不相容性氣體的排氣不得連接進(jìn)入同一排氣主管。

3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣體的排氣濃度超過(guò)燃燒下限20%或最大允許濃度10%時(shí)，必須經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置處理后排入廠房排氣系統(tǒng)。

    4 合適的廢氣處理裝置包括但不限于：1）干式處理；2）水洗式處理；3）加熱分解處理；4）燃燒處理；5）等離子分解處理；6）稀釋處理；以及以上幾種處理方式的結(jié)合。